微机电系统 (MEMS) 是一种建立非常小的结构的技术，通常范围为毫米到微米。纳米机电系统 (NEMS) 是类似的，但其范围是在纳米。MEMS/NEMS 结构是一个集成的设备，集微传感器、微执行器、信号处理和控制电路于一体。
微传感器是将各种物理信号，如压力，声音，加速度等，转化为电信号的过程，而微执行器刚好相反，是将电信号转化为机械位移的过程。本平台主要是通过电学测量的方法测试微传感器的输出信号。
根据微传感器转换电信号原理，分为电容式传感器和电阻式传感器，因此传感器的输出测试主要是测试不同输入信号给入时的电容值或电阻值。除此以外，漏电流测试也是表征传感器是否有缺陷的一种技术手段。
电容式微传感器当接收到不同外界物理量的输入信号时，会发生一定的位移，位移值不同，其电容值也不同，因此输出的电容值可以表征输入信号的大小，通常该电容值为pF量级。当没有外界物理量输入时，还可以用电压信号来模拟不同 大小的物理量，监测微传感器在不同偏压时电容值的变化。因此电容测试的过程实际上的意思就是 C-V 测试的过程，测试设备所能施加的交流频率范围，偏压大小和电容测试精度是需要仔细考虑的几个重要指标。
电阻式传感器当接收到不同外界物理量的输入信号时，输出电阻值会发生一定 变化，因此电阻值可以表征输入信号的大小。要求测试设备电阻测量精度高，可重复性好。
4200A-SCS 是一款集成式半导体参数检测系统，共有 9 个插槽，支持 3 种不一样的模块，包括直流 I-V 测试模块源测量单元，交流 C-V 测试模块以及超快脉冲测量单元，内置Win 7 操作系统和 450 种以上测试库，可以很方便的进行MEMS 器件测试。
交流电容 C-V 测试模块 4210-CVU 内置交流电压源，直流偏置电压源，交流电流表和交流电压表，使用开尔文测试模式，可以在扫描直流偏置电压的同时，测试不同偏置电压的电容值，且频率范围可调，高达 10MHz。
直流 I-V 测试模块，即源测量单元 SMU，可以在扫描电压的同时测试电流来生成 I-V 曲线，通过公式计算 MEMS 传感器的输出电阻值。选配可选的前端放大器模块后，输入阻抗高达 10PΩ(1E16Ω)，电流精度为 10fA，可以测试宽范围的电阻值，且其电流高精度性能可拿来测试 MEMS 传感器的漏流指标。
为了方便在 IV 和 CV 测试之间灵活切换，省去手动换线的过程，可以再一次进行选择 IVCV 多通道切换开关在 IV 模块和 CV 模块之间进行切换。
吉时利源表SMU仪器提供了电流或电压，同时以高度、高精准度测量电流、电压、电阻。SMU仪器为备用电源和DMM提供了智能方案， 源表集合电压源、电流源、电压表、电流表的功能于一身，可大范围的使用在各类精密器件的测量。今天安泰测试分享一下吉时利源表应用及选型需要注意的几点： 一、吉时利不相同的型号种类及应用功能 （一）、 2400图形台式源表:同时提供分析仪，示图仪和I-V系统功能 （二）、 2400台式源表仪器：方便DMM用户界面；2/4/6线电阻，支持强制I或者V供电模式，V-Force从1-V到1.1kV,10pA -5A连续电流。10A脉冲式，2W-100W （三）、 2600B系统源表： 通过tsp-link实现真正多通道并行测试，到
源表应用及选型需要注意的几点解读 /
低阻测量提供了识别随时间变化的电阻要素的好办法。通常，这类测量用于评估器件或材料是不是因外因（如热量、疲劳、腐蚀、振动等）而降级。对于许多应用而言，这些测量通常低于10Ω。阻值的变化往往是两个触点之间发生某种形式降级的最好指示。为了评估高功率电阻器、断路器、开关、母线、电缆、连接器及其他电阻元件，通常使用大电流进行低阻测量。 大多数数字多用表(DMM)不具备通过大电流进行低阻测量的能力。可通过数字多用表(DMM)与电源一起做测量，但为实现测量过程自动化，这些仪器首先必须集成于系统，然后必须人工计算电阻。 利用源测量单元（SMU）仪器或数字源表仪器，可以简化大电流激励的低阻测量。数字源表仪器能够源和测量电流和电压。吉时
测量 /
把各种测量集成到器件特性分析中最困难的问题之一，是每种测量类型大多数都要求不同的线缆。选择与测量类型配套的线缆增强了测量完整性。但是，改变每种测量类型的电缆耗时很长，许多用户只能接受次优结果。此外，在重新连接电缆时，用户会面临电缆重连不正确的风险，进而导致错误，需要额外的调试时间。更糟糕的是，这些错误在很久内都可能注意不到。 针对这些开关测试的困扰，泰克围绕客户应用需求来做创新，其新型吉时利高速度、高完整性开关解决方案帮助客户轻轻松松完成复杂测试。4200A-CVIV多通道开关在I-V测量和C-V测量之间自动切换，C-V测量能移动到任何输出通道上，而不需重新布线通道开关允许用户在I-V和C-V测试期间保持相同的阻抗，
时间缩短30倍 /
吉时利KEITHLEY源表测试原理 二次电池根据不同应用可采用不一样办法来进行充放电测试，本文采用恒压或恒流方法。 使用恒压方法，程控电压源提供一固定电压，该值与电池电压相等。电压源的电流可限定为一安全充电电流值。当电池充满时，电流会降低直至为零(或近似为零)。出于对电池安全考虑，不要过量充电。过量充电使电压低于一规定的限值，会增长充电时间或损坏电池。 采用恒流方法，程控电流源可提供一额定的电流。电流源将连续对电池进行充放电直至其到达一电压值。 吉时利KEITHLEY源表测试过程 把源表作为恒压源进行充放电使源表处于恒压方式，可同时测试电流或电压。电压源可根据电池要求设定到所要求的值，钳位电流值也可适当设定。当源表使电池充
一、吉时利数字源表2400系列产品介绍： 吉时利数字源表系列专用于要求紧密结合源和测量的测试应用。全部数字源表型号都提供精密电压源和电 流源以及测量功能。每款数字源表既是高度稳定的直流 电源也是线位半万用表。此电源的特性包括 低噪声、精密和回读。此万用表的功能包括可重复性高 和低噪声。最终形成了紧凑、单通道、直流参数测试仪。 在工作时，这些仪器能用作电压源、电流源、电压表、电 流表和欧姆表。通信、半导体、计算机、汽车和医疗行业 的组件和模块制造商会发现吉时利数字源表是适于特性分析和生产测试等大范围的应用的重要源表。 二、吉时利数字源表2400系列产品特点： 集5台仪器的功能于一体（IV源、IVR 测量） 6种模式：20W
C-V测量为人们提供了有关器件和材料特征的大量信息 通用测试 电容-电压（C-V）测试大范围的使用在测量半导体参数，尤其是MOSCAP和MOSFET结构。此外，利用C-V测量还可以对别的类型的半导体器件和工艺进行特征分析，包括双极结型晶体管（BJT）、JFET、III-V族化合物器件、光伏电池、MEMS器件、有机TFT显示器、光电二极管、碳纳米管（CNT）和多种其他半导体器件。 这类测量的基本特征非常适用于各种应用和培训。大学的研究实验室与半导体厂商利用这类测量评测新材料、新工艺、新器件和新电路。C-V测量对于产品和良率增强工程师也是非常非常重要的，他们负责提高工艺和器件的性能。可靠性工程师利用这类测量评估材料供货，
仪器公司分享半导体C-V测量基础技术 /
检测过程 经工程师检测，测试功能正常，质检验证指标，可能有偶发故障，检测后发现是控制板模拟单元损坏。 维修过程 更换控制板模拟单元组件，调整检验测试仪器。 维修结果 已修好，测试正常。
2510源表误差大维修案例 /
为了保障电池生产产能和质量，在生产的全部过程中，电池生产厂商需要对电池进行OCV(开路电压)测试。挑选一款高精度、高性能的测试仪器，在进行电池OCV测试中的作用不可以小看。数字万用表是电池生产产线上常用到的标准测试仪器之一，那么什么样的万用表才能够很好的满足要求呢？安泰测试推荐吉时利万用表DMM6500。 OCV测试的精度要求： 在电池OCV测试中，对精度要求非常高，电压精度要达到1mV，电流精度要达到0.5mA。 吉时利万用表DMM6500测量功能及量程范围 所以我们在选择万用表时，至少应选择六位半分辨率的数字万用表。吉时利万用表DMM6500——这款六位半万用表测量精度与电池OCV测试要求十分契合，可以保障此类电池测量的准确性
万用表DMM6500为你解忧 /
K20006位半数字万用表电路图
的通道热载流子(CHC)劣化
直播回放: Microchip 安全系列14 - 采用SAM L11和TrustFLEX ATECC608安全器件的GoodLock项目
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