械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高，适于批量化生产、易于集成和实现
随着居民收入水平的提高，对健康的需求日益提升，在未来整个MEMS传感器市场当中，医疗领域增长最快之一。
过去中国经济以地产和汽车主导，主要为适应15-64岁人口增长对应的需求。而未来随着64岁以上人口的增加，经济结构将由中老年人的需求主导，与之对应的医疗和养老或将成为主导产业。
2016年，中国医疗开支总额大约在4.3万亿元，占GDP的比重约为5.8%，其中财政医疗卫生支出1.3万亿，占GDP比重1.8%。而按照世界银行的数据，2014年全球医疗开支占GDP的比重平均为10%，其中公共医疗支出占GDP比重平均为6%。这意味着和全球平均水平相比，中国的医疗支出尤其是公共医疗支出仍有巨大提升空间。
人口老龄化必然带来更大的医疗压力和市场需求，也促使各设备厂商对新型医疗设备投入更多的研发资源。更高效快速准确的诊断和治疗，是医疗行业永远的目标。结合MEMS和先进的电子信息处理技术，下一代医疗设备有望取得质的飞跃。医疗应用厂商也纷纷瞄准这一方向，努力开发能够高效应对多种疾病的技术手段。尽管许多应用已经被推向市场，在现实中我们看到的只是冰山一角。不仅专业的医护人员将进一步采用先进技术提供医疗保健服务水平，全社会都将越来越多地在日常生活中跟踪人体健康。MEMS将在所有这些应用中扮演最主要的角色。
MEMS压力传感器用于在医疗保健监测应用中提供重要信息：血压计；有创血压计；宫腔内压力监测仪；医院床位控制；呼吸器和呼吸机；睡眠呼吸暂停监测仪；健康和健身系统；透析设备；用于吸入器的药物传输；物理治疗设备；活动监测器。
健康医疗应用将是继消费类电子产品之后，MEMS器件大幅增长的重要推动力。尤其是可以获得人体运动、声音、血压、心跳以及脑电波等相关信号的MEMS传感器，将人体信息转换成数字信息，传送至医疗机构的网络系统，让每位用户都能轻松进行健康管理。这将开创个人健康医疗新纪元，极大地提高人类的生活质量，同时缓解“看病难、看病贵”的医疗压力。
生物传感器正被广泛部署在众多产品中，尤其是健身手环、智能手表以及智能手机，以跟踪多个生命体征和活动趋势。结合先进的封装技术，现在能将光学传感器机械传感器、MEMS和无源器件与各种IC电路结合在一起，集成到智能手机或可佩戴设备中。
从应用的角度，医疗设备可分为治疗、诊断、外科手术和检测设备。诊断设备领域是嵌入式MEMS设备的主要市场。根据分析机构预测，这一应用在未来几年内市场的年复合增长率将超过15%。
基于嵌入式MEMS医疗设备的市场根据不同类型的传感器分为很多种,如加速度计、压力、温度、微分配器、光学图像、流量、药物输送、硅麦克风、和微流控芯片。其中压力传感器占据了最大的市场份额；但增长率最高的则当属用于药品传送的MicroDispenser。另外，根据终端用户的不同，医疗MEMS市场还可以分为保健市场、医院市场和家庭医疗保健市场。其中，毫不意外的，医院对嵌入式MEMS医疗设备的需求量是最大的。
在过去的几年里，医疗保健行业已经见证了信息技术带来的巨大变革和进步。集成MEMS的医疗设备确保了疾病监测和诊断的效率，并在高血压、体温异常、呼吸系统疾病和很多其它的疾病治疗上都有出色表现。MEMS系统固有的小型化优势促进了医疗设备的自动化，小型化和便携式，这种技术上的进步反过来又推动了新市场的增长。
随着医疗保健技术的不断发展，这些市场趋势使医疗护理转型成为可能。曾经在医院或医生办公室使用的临床设备现已移至家中。如血压计、血糖仪、体重秤等便携式医疗设备如今都已连接到数据枢纽中心，或将您的个人监控数据发送至可安全保管的医疗云中。所有类型的医疗保健设备都正从病房或医院向家庭转移。
除了将医疗设备带入家庭，医疗保健移动连接的广泛使用也能大大降低医疗成本，增加医疗保健服务的覆盖面和可获性，并减少疾病对人们生活的影响。随着移动模块成本的降低，嵌入式移动健康解决方案预计将激增，为创新型服务的开发创造机会。远程患者监测功能专为减轻非健康生活方式和老龄化人口所带来的成本负担而设计。
在“健康中国”上升为国家战略之后，医疗产业的发展再次成为社会瞩目的焦点。现在我们国家在重视和推广家庭医生制度和基础医疗，这会引起这个行业的结构调整。基础医疗市场空间巨大，一些专家测算，随着药品、医疗器械、大健康产品以及新型医疗健康发展模式的成型，十万亿量级的大健康医疗产业将全面铺开。
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半导体技术继续在助力实现便携式、患者监控、诊断和疗法的新技术开发中扮演重要角色。
半导体技术继续在助力实现便携式、患者监控、诊断和疗法的新技术开发中扮演重要角色。
的应用领域越来越广泛，由最早的工业、军用航空应用走向普通的民用和消费市场。在
的全称是微型电子机械系统（Micro-ElectroMechanical System），微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型
化的特点， 经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。在众多汽车
器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上，这样能够感知被测参数，并且还能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断
(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微机电系统的缩写，
技术建立在微米/纳米基础上，是对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术，完整的
、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。
加速度计和陀螺仪的工业系统而言，优化带宽可能是关键考虑因素。这代表着精度(噪声)与响应时间之间的一种经典权衡。虽然多数
汽车时代，主动安全技术成为备受瞩目的新兴领域，侧翻（rollover）与稳定性控制（ESC）是对当今主动安全系统的全新改进。这就需要
）技术在微型化技术基础上，结合了电子、机械、材料等多种学科交叉融合的前沿科研领域的不断发展与成熟，从而出现了很多基于
具有体积小、重量轻、低功耗、多功能等优点，在电子产品、航空航天、机械化工等行业中得到了广泛应用。
，极具诱惑力的价格配合卓越的产品性能，让意法半导体迅速扩大了在消费电子
（Micro-Electro-Mechanical System）是指集机械元素、微型
以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。
了通过体加工和表面加工方法、利用压阻、电容和光学技术制备的基于洛伦兹力的
的灵敏度、品质因子、噪声和探测极限等特性。随着纳米技术、集成化技术以及封装技术的不断发展，更多高性能、同时可监测多个物理量的
用于在汽车正常行驶时监控发动机内部液体的黏度，通过监测汽油和传动液的液体粘稠度，向司机提供反馈信息。此外，
产业的优劣势何在?应如何健康发展?日前，各方专家就上述问题进行了深入探讨。
（微电子机械系统）的出现意味着电子系统设计的一个重大改变，但这种改变并非在一夜之间发生的。该技术需要经过多年完善和成本优化，不过最近几年从
器械市场，小型化、低功耗和液媒兼容性高等产品特点已成为全球性的发展趋势。但在各个国家和地区，材料规范标准、产品需求及成本问题不尽相同。这就要求
器械市场，小型化、低功耗和液媒兼容性高等产品特点已成为全球性的发展趋势。但在各个国家和地区，材料规范标准、产品需求及成本问题不尽相同。这就要求
仪表为控制主体、以计算机为监控指挥中心的系统编程、组态、维护、监控等功能为一体的工作平台。
汽车、工控、可穿戴、物联网等，基本上都是国外品牌的市场。在工业领域，应用
,其是将一种绿色LED (发光波长570nm)和采用高科技纳米涂层的环境光检查
最近，美国霍尼威尔(Honeywell)公司先后推出了PPT系列、PPTR系列和PPTE系列可实现网络化的
，微型电池或微型无线电芯片以在线发送其测量数据。微型格式，微型生产成本，微型运营成本：电容式惯性
可以形成相对简单的系统，这种系统本身就比较稳定。尽管如此，开环工作时的系统对
通过基于微电子机械系统(MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM,
网络是由部署在监测区域内部或附近的大量廉价的、具有通信、感测及计算能力的微型
的应用领域越来越广泛，由最早的工业、军用航空应用走向普通的民用和消费市场。在
保健问题变的空前重要。体外诊断、药物研究、病患监测、给药方式以及植入式
化、集成化，随着产品可靠性进一步提高和价格降低，制作技术发展的不断成熟和完善，
的设计在本质上对运动非常敏感，可有效检测和处理线性加速、磁航向、海拔和角速率信息。为充分利用惯性
分类居然如此复杂！不信请看：刚看见这张表，楼主内心是崩溃的——怎么这么多！那么问题来了，挖掘机
是可动结构，利用微纳加工技术同时加工出机械结构和电路系统。如图1中所示，是目前市场中常见的一些
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